Ярымүткәргеч пластиналарда, төгәл оптик линзаларда һәм капланган компонентларда өслекнең тигезсезлеген, баскыч биеклеген һәм юка пленка калынлыгын тикшерү җитештерү күләмен турыдан-туры билгели. Традицион контакт зонд сканерлавы нечкә үрнәкләрне җиңел тырный, ә гади оптик үлчәү җиһазлары нано дәрәҗәдәге төгәллекне бирә алмый. Бер үк вакытта җимерми торган сынауга, ультра югары нано төгәллеккә һәм югары җитештерүчән масса җитештерү тикшерүенә ничек ирешергә?
Wavelength OE компаниясенең яңа сәнәгать ак яктылык интерферометры икеләтә интерферометрия үлчәү режимнарына ия. Контактсыз ачыклау ярдәмендә ул лаборатория тикшеренүләреннән алып онлайн җитештерү сыйфатын тикшерүгә кадәр тулы эш процессын үз эченә ала.
Барлык өслек топографиясе өчен ике үзәкле интерферометрия режимнары
Бер режимлы үлчәү җайланмаларыннан аермалы буларак, бу система VSI (вертикаль сканерлау интерферометриясе) һәм PSI (фазаны алыштыручы интерферометрия) алгоритмнарын берләштерә, бер машина белән ике төп үлчәү таләбен канәгатьләндерә.
| Чагыштыру әйбере | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| Төп кулланыла торган өслекләр | Тупас өслекләр, баскычлар, өзекле һәм катлаулы топографияләр | Бик шома, өзлексез һәм көзгеле өслекләр |
| Вертикаль биеклекне үлчәү диапазоны | Киң диапазон; тирән чокырларны һәм югары баскычларны үлчәү сәләтенә ия | Тар диапазон; аерым торган зур баскычлар өчен яраклы түгел |
| Вертикаль чишелеш | Нанометр дәрәҗәсе; оптимальләштерелгән алгоритмнар белән ирешеп була торган субнанометр дәрәҗәсе | Иң югары чишелеш; нанометрдан түбәнрәк, хәтта ангстремнан түбәнрәк дәрәҗәгә кадәр кабатланучанлык |
| Өслекнең катылыгына чыдамлылык | Югары | Түбән |
| Фаза билгесезлеге | Юк диярлек; абсолют биеклек кыйммәте чыгарылышы бар | 2π фаза төрү хатасына бәйле |
| Тизлекне үлчәү | Аксиаль сканерлау таләп итә, чагыштырмача әкрен | Гомумән алганда, тизрәк |
| Вибрациягә каршы торучанлык | Сканерлау вакытында тибрәнүләргә бирешүчән | Күп кадрлы фаза күчерү, тибрәнүләргә сизгеррәк |
| Гадәти кушымталар | Катылык, баскыч биеклеге, микроструктуралар, эшкәртелгән өслекләр | Өслекнең бик тигез тигезлеген, өслек формасын һәм яссылыгын сынау |
PSI (Фазаны алыштыручы интерферометрия): Нано-масштаблы кечкенә биеклекле объектлар һәм ультра-нечкә пленкалар ясауга махсуслашкан, микроскопик яктан иң югары чишелеш бирә.
Самолет көзгесе
Бөкле көзге (кабарык көзге)
Фотолитографик үрнәк үрнәге
VSI вертикаль сканерлау интерферометриясе: Зур биеклек үзгәрешләре һәм биек баскычлары булган эш кисәкләре өчен оптимальләштерелгән; сегментланган сканерлаусыз тулы үлчәү диапазоны бар.
Алга киткән төргәкләнгән пластиналардагы түгәрәк микро бөгелеш массивы
Алдынгы төргәкләнгән пластиналар өстендә эллиптик микро бөгешләр массивы
микролинзалар массивы
450–700 нм кыска когерентлы ак яктылык чыганагы белән туры китереп, ул күп чагылышлардан килгән чит яктылыкны нәтиҗәле рәвештә баса ала һәм көчле комачаулауга каршы торучанлык бирә. Күп катламлы капламалар белән җиһазландырылган бу оптик компонент тотрыклы һәм ачык комачаулау сигналларын чыгара ала, чын һәм ышанычлы үлчәү нәтиҗәләрен бирә.
2. Тармакта алдынгы нано-класслы спецификацияләр, озак вакытлы күзәтелә торган һәм тотрыклы мәгълүматлар
-Система 550 нм үзәк дулкын озынлыгындагы LED ак яктылык чыганагын куллана, ул глобаль премиум стандартларына туры килә торган югары дәрәҗәдәге үзәк эш параметрлары белән җиһазландырылган.
- Вертикаль чишелеш: <1 нм, кабат үлчәү хатасы: <10 нм, чын нанометр төгәллеге
- Максималь вертикаль үлчәү диапазоны: 500 мкм, югары-төмен микроструктуралар өчен кабат-кабат урын алыштыру кирәк түгел.
-Сканерлау тизлеге: 100 мкм/с, бер тулы сканерлау 10 секунд эчендә тәмамлана, төгәллек һәм тикшерү үткәрүчәнлеге тигезләнә.
-NIST күзәтелә торган стандартларына туры килә, урнаштырылган авто-калибрлау алгоритмы ярымүткәргеч һәм оптика сәнәгате өчен катгый QC стандартларына туры китереп, даими күзәтелә торган партия мәгълүматларын тәэмин итә.
| Әйбер | Параметр |
| Сыйдырышлыкны үлчәү | 3D өслек топографиясе, өслекнең тигезсезлеге, баскыч биеклеге һәм чагылдыргыч материалларның һәм оптик компонентларның пленка калынлыгы |
| Мәгълүмат җыю режимы | Вертикаль сканерлау интерферометриясе (VSI) + Фазаны күчерү интерферометриясе (PSI) |
| Калибрлау системасы | NIST күзәтелә торган стандарт + автоматик калибрлау алгоритмы |
| Вертикаль үлчәү диапазоны | 500 мкм |
| Карау кыры | 20× объектив: 0,87 × 0,65 мм |
| Камера эшчәнлеге | Максималь чишелеш: 2048×2448; Кадр ешлыгы: 74 кадр/сек; Бит тирәнлеге: 12 бит |
| Сканерлау тизлеге | 100 мкм/с (Төгәллек режимы) |
| Объектив линза вариантлары | 20x / 50x зурайту максатларын көйләргә мөмкин |
| Урнаштыру проекты | Актив вибрация изоляциясе платформасы урнаштырылган, горизонталь һәм вертикаль урнаштыру мөмкинлеге бар |
| Гомуми үлчәм (Узлык × Киңлек × Биеклек) | 120 × 80 × 65 см |
| Нетто авырлыгы | ≤58 кг |
3. Сәнәгать өчен интеграцияләнгән шкаф дизайны, лаборатория һәм җитештерү линиясе белән туры килә
Күпләп җитештерү остаханәләре һәм фәнни тикшеренү лабораторияләре өчен оптимальләштерелгән, урнаштыру өчен уңайлы.
Актив вибрация изоляциясе платформасы: Завод вибрациясе астында тотрыклы үлчәү, өстәмә вибрация изоляциясе өстәле кирәк түгел.
Икеләтә урнаштыру структурасы: Горизонталь яки вертикаль урнаштыру, автоматлаштырылган җитештерү линияләре һәм лаборатория эш станцияләре белән җиңел интеграция.
Компакт, барысы да бер урында: кечкенә мәйдан, үлчәмнәре 120 × 80 × 65 см, авырлыгы ≤58 кг, урында урнаштыру җиңел.
Система тулысынча яктылык чыганагын, интерферометрның төп блогын һәм идарә итү модулен берләштерә. Чыгарганнан соң тоташтырыгыз һәм эшләтегез, катлаулы оптик юл көйләүләре кирәк түгел.
Югары төгәллекле җитештерү өчен киң куллану колачлары
Ярымүткәргечләр сәнәгате: кремний пластиналарының һәм микро-нано чипларның 3D топографиясе һәм баскыч биеклеген тикшерү.
Төгәл оптика: Оптик линзалар, максатчан объективлар һәм капланган оптик элементлар өчен тупаслык һәм пленка калынлыгын сынау.
Яңа функциональ каплаулар: Чагылдыргыч каплауларның һәм функциональ юка пленкаларның өслек профиле һәм калынлыгы анализы.
Фәнни тикшеренү лабораторияләре: Микронано структурасын характеристикалау һәм компонентларның төгәл морфологиясен сынау.
Оптик тикшеренүләр һәм эшләнмәләр өлкәсендә күпьеллык профессиональ тәҗрибәсе белән, Wavelength OE ак яктылык интерферометрлары өчен барлык төп оптик юлларны һәм үлчәү алгоритмнарын мөстәкыйль рәвештә эшли. Яктылык чыганакларыннан, объектив линзалардан алып калибрлау системаларына кадәр тулы техник контроль. Һәр җайланма китерү алдыннан күп әйләнешле төгәл калибрлаудан үтә. Без тулы сатудан соңгы техник ярдәм күрсәтәбез һәм клиентларның эш кисәге зурлыгына һәм автоматик җитештерү линиясе таләпләренә нигезләнеп эксклюзив үлчәү чишелешләрен көйлибез.
Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 15 июле